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Beschreibung
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Über den Autor
About the Author
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann has been teaching semiconductor technology, microelectromechanical systems, sensor technology and optoelectronic system integration since 1989.
Inhaltsverzeichnis
Wafer fabrication.- Thermal oxidation.- Lithography.- Etching technology.- Doping techniques.- Chemical and Physical Deposition.- Metallization and Contacts.
Details
Erscheinungsjahr: | 2023 |
---|---|
Fachbereich: | Nachrichtentechnik |
Genre: | Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Technik |
Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
Medium: | Taschenbuch |
Inhalt: |
xi
264 S. 176 s/w Illustr. 2 farbige Illustr. 264 p. 178 illus. 2 illus. in color. |
ISBN-13: | 9783658410407 |
ISBN-10: | 365841040X |
Sprache: | Englisch |
Ausstattung / Beilage: | Paperback |
Einband: | Kartoniert / Broschiert |
Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
Auflage: | 1st ed. 2023 |
Hersteller: |
Springer Fachmedien Wiesbaden
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
Verantwortliche Person für die EU: | Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46, D-65189 Wiesbaden, juergen.hartmann@springer.com |
Maße: | 240 x 168 x 15 mm |
Von/Mit: | Ulrich Hilleringmann |
Erscheinungsdatum: | 03.08.2023 |
Gewicht: | 0,524 kg |
Über den Autor
About the Author
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann has been teaching semiconductor technology, microelectromechanical systems, sensor technology and optoelectronic system integration since 1989.
Inhaltsverzeichnis
Wafer fabrication.- Thermal oxidation.- Lithography.- Etching technology.- Doping techniques.- Chemical and Physical Deposition.- Metallization and Contacts.
Details
Erscheinungsjahr: | 2023 |
---|---|
Fachbereich: | Nachrichtentechnik |
Genre: | Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Technik |
Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
Medium: | Taschenbuch |
Inhalt: |
xi
264 S. 176 s/w Illustr. 2 farbige Illustr. 264 p. 178 illus. 2 illus. in color. |
ISBN-13: | 9783658410407 |
ISBN-10: | 365841040X |
Sprache: | Englisch |
Ausstattung / Beilage: | Paperback |
Einband: | Kartoniert / Broschiert |
Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
Auflage: | 1st ed. 2023 |
Hersteller: |
Springer Fachmedien Wiesbaden
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
Verantwortliche Person für die EU: | Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46, D-65189 Wiesbaden, juergen.hartmann@springer.com |
Maße: | 240 x 168 x 15 mm |
Von/Mit: | Ulrich Hilleringmann |
Erscheinungsdatum: | 03.08.2023 |
Gewicht: | 0,524 kg |
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