Günter Schumicki: Prozeßtechnologie - MEOVERSA

Cover: 9783540176701 | Prozeßtechnologie | Günter Schumicki (u. a.) | Taschenbuch | Paperback

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Beschreibung

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Details

Erscheinungsjahr:	1991
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Reihe:	Mikroelektronik
Inhalt:	xvi 500 S. 168 s/w Illustr. 500 S. 168 Abb.
ISBN-13:	9783540176701
ISBN-10:	3540176705
Sprache:	Deutsch
Ausstattung / Beilage:	Paperback
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg Mikroelektronik
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	244 x 170 x 28 mm
Von/Mit:	Günter Schumicki (u. a.)
Erscheinungsdatum:	08.03.1991
Gewicht:	0,887 kg

Artikel-ID: 102455361

Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Details

Erscheinungsjahr:	1991
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Reihe:	Mikroelektronik
Inhalt:	xvi 500 S. 168 s/w Illustr. 500 S. 168 Abb.
ISBN-13:	9783540176701
ISBN-10:	3540176705
Sprache:	Deutsch
Ausstattung / Beilage:	Paperback
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg Mikroelektronik
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	244 x 170 x 28 mm
Von/Mit:	Günter Schumicki (u. a.)
Erscheinungsdatum:	08.03.1991
Gewicht:	0,887 kg

Artikel-ID: 102455361

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